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アイテム
LSI微細Cu配線におけるエレクトロマイグレーション信頼性に関する研究
https://uec.repo.nii.ac.jp/records/1695
https://uec.repo.nii.ac.jp/records/16953dfa16cb-a3a3-4e34-9f8c-d8f47b765fce
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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9094000151.pdf (632.8 kB)
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| アイテムタイプ | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2008-03-24 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | LSI微細Cu配線におけるエレクトロマイグレーション信頼性に関する研究 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | A Study of Electromigration Reliability of Copper Interconnects in Advanced LSI | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||||||
| 著者 |
横川, 慎二
× 横川, 慎二
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| 学位授与機関 | ||||||||||||
| 学位授与機関名 | 電気通信大学 | |||||||||||
| 学位授与年度 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | 2007 | |||||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||||
| 学位授与年月日 | 2008-03-24 | |||||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||||
| 学位授与番号 | 12612乙第122号 | |||||||||||
| 学術成果タイプ | ||||||||||||
| 博士学位論文要旨 | ||||||||||||
