@misc{oai:uec.repo.nii.ac.jp:00001695, author = {横川, 慎二 and Yokogawa, Shinji}, month = {2016-09-21}, note = {2007}, title = {LSI微細Cu配線におけるエレクトロマイグレーション信頼性に関する研究}, year = {}, yomi = {ヨコガワ, シンジ} }