@misc{oai:uec.repo.nii.ac.jp:00008633, author = {村田, 悠馬}, month = {2018-03-27}, note = {2017}, title = {炭化水素熱分解法により作製した窒素添加アモルファスカーボン薄膜の微視的構造に関する研究}, year = {}, yomi = {ムラタ, ユウマ} }